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                  CGO系列高低溫真空探針臺可滿足6 英寸樣品測試,高真空結構可避免低溫結霜、高溫氧化等情況,保證測試準確性??捎糜诰A測試、 LED 測試、功率器件測試、光電測試、場晶體效應管測試等不同產品和應用場景,亦可升級做射頻測試。

                  名稱:CGO高低溫真空探針臺
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                  CGO系列高低溫真空

                  探針臺

                   

                  高低溫真空探針臺.png

                   產品介紹

                  高低溫真空探針臺.png

                   1.1 功能介紹

                   

                  CGO系列高低溫真空探針臺可滿足6 英寸樣品測試,高真空結構可避免低溫結霜、高溫氧化等情況,保證測試準確性??捎糜诰A測試、 LED 測試、功率器件測試、光電測試、場晶體效應管測試等不同產品和應用場景,亦可升級做射頻測試。

                   

                  1.2 技術參數

                   

                  型號

                  基本參數

                  CGO-2CGO-4CGO-6
                  腔體樣品臺尺寸

                  2英寸

                  4英寸

                  6英寸

                  樣品固定

                  彈簧壓片

                  觀察窗口

                  2英寸

                  4英寸

                  6英寸

                  真空度

                  10-5torr

                  探針臂接口

                  最多4個探針臂接口

                  最多6個探針臂接口

                  其他接口

                  電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

                  溫控系統

                  制冷方式

                  液氮/液氣/制冷機

                  溫度范圍

                  77K  573K/4.5K  573K

                  溫控精度

                  0.1K/0.01K/0.001K

                  穩定性

                  ±1K/±0.1K/±0.01K

                  顯微鏡

                  顯微鏡類型

                  單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

                  放大倍率

                  16X-200X/20X-4000X

                  移動行程

                  水平360度旋轉,Z軸行程50.8mm

                  光源

                  外置LED環形光源/同軸光源

                  CCD

                  200萬像素/500萬像素/1200萬像素

                  探針臂

                  X-Y-Z移動行程

                  50mm*50mm*50mm

                  結構

                  外置探針臂,真空波紋管結構

                  移動精度

                  10微米/I微米

                  探針夾具

                  線纜

                  同軸線/三軸線/射頻線

                  漏電精度

                  10pA/100fA/10fA

                  固定探針

                  彈簧固定/管狀固定

                  接頭類型

                  BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

                  探針

                  頻率支持

                  DC-110GHz

                  針尖直徑

                  0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

                  材質

                  鎢鋼/鈹銅

                  真空組件

                  分子泵組/機械泵/離子泵

                  冷源組件

                  50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷機

                  外形

                  880mm *880mm *600mm 

                  980mm *980mm *600mm 

                  重量

                  100千克

                  120千克

                  可選附件

                  超高溫配件

                  屏蔽箱

                  高壓測試配件

                  顯示器

                  光學平臺

                  分子泵組

                  轉接頭

                  鍍金卡盤

                  激光系統

                  射頻測試配件

                  光電測試配件

                  氣敏測試配件

                  根據客戶要求定制



                  應用案例:


                  北京師范大學CGO探針臺.png華為OCG高低溫探針臺.png南科大CGO高低溫真空探針臺.png
                  中國石油大學CGO高低溫真空探針臺.png西南交通大學OCG高低溫真空探針臺.png南方科技大學OCG高低溫真空探針臺.png
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